光電元件實驗室

實驗室簡介

本實驗室著重以濕式製程進行，從基板清潔與RCA製程、光阻塗佈、曝光顯影、金屬薄膜濺鍍、金屬舉離製程，讓學生熟悉微光學元件與系統之製造技術。
實驗室主要設備有高真空濺鍍系統、光學顯微鏡、旋轉塗佈機、紫外曝光機...等。