光電薄膜技術實驗室

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光電薄膜技術實驗室

指導教授:唐謙仁

實驗室簡介

光電薄膜技術實驗室主要在研究光學或光電薄膜相關之光學及物理特性檢測分析,光學多層干涉濾光片濺鍍製程開發,進一步模擬及設計應用於光學鍍膜之濺鍍製程設備及電漿源之研製。

研究主題1.

光學薄膜濺鍍製程開發

反應性濺鍍製程、高功率脈衝反應性濺鍍製程、電漿放射光譜監控系統開發及多層膜廣波域光學監控系統開發。

研究主題2.

光學薄膜特性檢測與分析

分析探討氧化物、氮化物、透明導電材料、電致變色及熱致變色材料薄膜之光學及物理特性。

研究主題3.

光學薄膜製程設備設計與開發

光學反應性濺鍍製程設備開發、ICP感應耦合電漿系統開發及電漿輔助反應性磁控濺鍍系統開發。

研究主題4.

薄膜及製程模擬

光學多層干涉濾光片設計、膜厚均勻性分佈模擬及電漿模擬。

聯絡資訊

唐謙仁 副教授
Office :理學大樓 理210E 教師研究室
Lab: 理學大樓 理B03 光電薄膜技術實驗室
E-mail : cjtang@fcu.edu.tw
Phone number (office) : 04-24517250 Ext. 5048